手机浏览器扫描二维码访问
第1099章（第1页）
“了不起啊，小陆，你们了不起啊。”
沙领导满意道：“我记得是7年前还是8年前，也是在这里，你让我看的是65nm干式光刻机，还向我保证绝对能搞出属于我们自己的国产的浸润式光刻机，我本来以为要花10年甚至更长的时间，没想到你给了我们一个大大的惊喜啊！这么快让你们搞出来了！”
“哪里，哪里，领导。”
陆飞露出谦虚而内敛的笑容。
“说说吧，到底是怎么搞出来的？”
沙领导眼里满是赞赏之色。
“其实这并不是逻辑和中微两家的功劳，我们只负责整体的统筹调度和集成研发。”
陆飞笑道：“DUV浸润式光刻机能成功，完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们，是他们的血汗和信念，才有了今天的光刻机，当然也离不开领导们的支持，地方上的政策，还有相关公司、院校、国企单位的合作。”
顿了顿，“可以说，这台DUV浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心，也代表着目前国内光刻机的最高水平，距离国际一线的EUV光刻机，只有一代的代差了。”
“生产7nm的良品率是多少？”
郑韩脸上挂着得意的笑容。
毕竟，如此国之重器出自张江技术园区，沪市毫无疑问当得上“华夏半导体之都”。
“不同的芯片不同的良率，但基本能稳定在70％，慢慢调试改进，可以达到80％。”
陆飞比比画画道：“完全可以比肩AMSL，只用4个光罩、4次曝光，就可以达到7nm制程工艺。”
沙领导问道：“现在逻辑和华为的手机用的都是7nm制程工艺的芯片对吗？”
陆飞点了下头，“没错，7nm是目前市面上最先进的制程工艺，不过根据摩尔定律，再过个一两年，就可能突破到5nm。”
“5nm是不是就需要EUV光刻机了？”
郑韩好奇道。
“有EUV光刻机固然是好，只要一次曝光，一个光罩就能实现7nm、5nm，但没有EUV光刻机也无妨，有这台DUV浸润式光刻机也可以做到。”
陆飞露出个看似轻松的笑容。
“喔？”
顷刻间，一众领导的目光齐聚于他。
“梁博士想到的方案，如果把光刻机极限使用，经过6个光罩，9次曝光，也可以实现5nm工艺。”陆飞直截了当地回答。
一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”
“还有良率。”
“是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”
领导们来回分析，议论纷纷。
陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”
“比如呢？”
沙领导投去问询的目光。
“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”
陆飞直说道：“AMSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给AMSL、尼康，但绝对不会出口给我们。”
然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了DUV浸润式的物镜系统，至于EUV的，恐怕需要很长一段时间。”
叶坤姜有容花带 艳绝傻妻已清醒 叶凡轩雨妃嫂子我真不是傻子 不准咬人 月魄在天 开局一座还珠楼 江辰路思茵 全民卡牌：我的套路有点脏 十维空间的神级文明 村姑嫡女谋天下 爱是永生的花 谍战风云，我的技能有属性！ 我才两岁，逆袭系统什么鬼？ 算命！我是认真的 快穿，小狐狸又去拯救反派啦 许嫣桑傅臻誊 囚笼之三女 我真的是一个道士 谢谢你一直在 勾引龙的正确方式
极品捉妖系统
万众瞩目之下，楚浩扔出一柄剑这轩辕剑你拿好，以后别在我面前装逼。这天，这地，这沧海，这宇宙，谁都无法阻止我。ps看完了？新书搜索从诡秘复苏开始不当人推荐票刷起来，让我们再次征战。...
美好生活从六零年代开始
...
传奇篮神
一个浑浑噩噩的少年，在阳台吹风不小心掉了下去，死过一次的他，决定开始改变，故事从这里开始，他就是林浩...
我和大圣是兄弟
王虎穿越了，而且悲催的成了五指山下的一只老虎。我去，这是要做猴哥虎皮裙的节奏？王虎表示不服。作为一只21世纪穿越来的新时代老虎，怎么着也要和猴哥拜把子，做兄弟啊！此时此刻齐天大圣孙悟空被压五行山马上就满五百年，再有十年，波澜壮阔，影响三界格局的西天取经之旅就要开始，看王虎如何在其中搅动三界风云，与猴哥一起再掀万...
明婚暗恋
...
大国工程
余庆阳一个搬砖二十年的老工程，梦回世纪之交，海河大学毕业，接老爸的班继续搬砖。用两辈子的行动告诉老师，搬砖不是因为我学习不好！是我命中注定要搬砖已有两本百万字完本书超级村主任最强退伍兵，可以放心入坑！大国工程书友群，群聊号码492691021新书重生之大国工匠...